第567章 故障排除靠重启（5400）
第567章 故障排除靠重启（5400） (第1/2页)巨大的新风管道呼呼作响，将绝对清洁的空气送进厂房之内。
一名身穿全身无尘服的研究员指着那台跟没有窗户的铁房子似的设备，给同样身穿无尘服的方豫做着讲解。
通过无尘服的透明面罩，能看到张博士的那张圆脸。
“周微电子的ICP-RIE等离子蚀刻机上周刚刚到货，现在正在装配，Compact-300薄膜沉积系统大概还要一周左右。”
张博士的头圆脸也圆，但不是胖，就是圆，看上去年纪并不大，眼袋却非常严重，明显是长期没睡好。
“这边主要是前道工艺的区域，要求的洁净度非常高，蚀刻机、圆晶AOI和探针台都在这个区域，洁净度低于Class10。”
张博士带着二人，一边走，一边指着通道两侧的设备介绍道。
宁雨好奇的扭头看了看，光刻机？蚀刻机？那是什么？
没看到什么机器啊，只看到一排排灰色铁房子一样的东西。
“Orbotech自动光学检测机基本已经调试完毕了。”
“这批货算是捡了个便宜，Orbotech应该正在谈被收购，全力做高营收，拉高估值，钱到位，什么都敢卖。”
张博士嘿了一声，语气中颇为不屑。
“百分之六十的生产设备现在都可以做到国产化替代，但关键设备都没办法国产。”
“不只是DUV和EUV光刻机，包括CMP化学机械抛光、晶圆封装、MEMS封装/传感器对准、MTF测量……全都只能高价买二手。”
说着，穿过两排设备区，前方又出现一道带有红色隔离标识的门。
张博士摘下挂在胸前的工牌对着感应器一刷，又在虹膜识别器前稍一俯身。
“权限已确认。”人工语音响起，门发出了“噗嗤”一声，自动打开。
看到门内是一条长长的甬道，四壁和顶部全是各种喷口的孔洞，宁雨就忍不住有点紧张。
刚刚不是喷过一次了吗？还要喷啊？
进入前道工艺车间前，张博士就带着穿好无尘服的二人进行了一次风淋，当时风淋间内巨大的气流声甚至让宁雨有种窒息的感觉。
明明穿着无尘服，呼吸也不受影响，但感受到超强的气流将无尘服吹的猎猎作响，还是让宁雨感觉有些紧张。
“DUV要求的洁净度更高，所以必须进行二次风淋。”
张博士稍稍解释了一句，随后锁紧内门，四壁喷嘴立刻摆动着喷出高速离子风，呼啸着冲刷三人的无尘服，带走可能残留的微尘。
所不同的是，这次的气流声音更大，比刚刚进入前道工艺车间时更加猛烈，时间也更长，足足喷了半分多钟。
宁雨可能有点幽闭恐惧，下意识的伸手捏住了方豫的无尘服。
方豫侧头看了她一眼，突然伸手在她后背安慰似的拍了拍。
宁雨不由得身体一震，下意识的看向被无尘服包裹得严严实实的方豫。
透过双层面罩，宁雨似乎看到同样被包裹得严严实实的方豫对自己笑了一下。
宁雨身体一震，一股异样的情绪从心底滋生出来。
这种情绪非常特别，痒痒的，怪怪的，像是有一只小猫在心中抓啊抓的，还时不时伸出爪尖，轻轻勾一下，又迅速缩回去。
那只小猫很调皮，偏偏不让她抓到，只留下一阵一阵的酥麻和暖意，在心口、在喉咙口、在耳尖蔓延开来。
她感到自己的呼吸在双层面罩变得轻微而又急促，像是怕惊走了什么易碎的东西。
她想抬手去按一按胸口，却怕被他看出来；想移开视线，又像被那双隔着面罩的眼睛黏住了，怎么也挪不开。
这还是她人生第一次有这样的感觉。
哪怕之前被迫体会柳菲菲和方豫相杵的感受时，都未曾有过。
“嘟~~~”
四周的喷嘴突然停止了喷淋，巨大的风噪瞬间停歇，风淋间内响起了嘟嘟声，内侧门头上的指示灯也从红色转为了绿色。
“嗤~”
风淋间的内门自动开启。
宁雨的手“嗖”的从方豫的无尘服上收了回来，脸腾一下就红了。
他没发现吧？没发现吧？
无尘服裹得这么严实，什么都看不到，应该没发现。
宁雨口中呼出的湿气，在面罩上凝结出一层薄雾，但又迅速被无尘服面罩顶部的自动送风系统抽走了。
“方总，两位，这里就是曝光间，也就是现在人常说的光刻间。”
张博士推开门，柳菲菲不由自主的眯了眯眼睛。
这里的亮度比刚刚的前道工艺区低了不少，照明的颜色也从明亮的白光变成了昏暗的黄色光源。
仔细看一下，好像四壁和天花也都是黄色的哑光漆面，像是用黄色隔绝了整个世界的色彩。
光刻间内占地足足四五十平米的金属房子也同样是黄色的，而四周的墙角和金属房子的底座则是纯黑色的哑光金属板。
在黄色金属房子的顶部，有一根塔状LED灯柱亮着红灯，同时塔柱上黄色的灯带也在间歇式的闪烁着。
“光刻胶对蓝光敏感，为了避免意外曝光，这里的照明必须采用黄钠灯。”
张博士解释了一句，看着面前两台亮着红灯的巨型设备叹了口气。
“这条1400F的DUV线，是从Intel搞到的二手设备，制程理论上只能到40纳米，实际大概只能到60纳米。”
“而且双工件台和KrF光源系统也有问题，迈国人简直就是丧心病狂，两条残废的产线居然还敢卖这么贵！”
“我们准备先自己研究一下能不能修好，修不好的话，可能需要换件，还得找特殊渠道让阿斯麦的工程师私下来看看。”
张博士义愤填膺，提到迈国人的时候，五官都皱到了一起，眉毛倒竖，咬牙切齿，显然深恶痛绝。
宁雨好奇之余，也有点尴尬，庆幸还好自己进来时带了口罩，后来又穿上了无尘服，没让张博士认出来。
她国籍也是迈国。
这人怎么这么恨迈国？
宁雨有点奇怪。
她知道大周国内很多人会对迈国幸灾乐祸，但恨得这么咬牙切齿跟恨小倭子似的，可太少见了。
这人是干什么的？说的什么我都没听懂……
方豫闻言，让张博士指了一下这两台DUV损坏的位置，看似好奇的摸了摸。
张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。
东西都是人家买的，想摸就摸吧。
好在方豫没摸多久，就松开了手。
“我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”
就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。
你觉着？
这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？
我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？
看不到故障灯在那亮着吗？
要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！
“方总，DUV重启一次，至少要十几个小时，花费几十万的费用，我们可以确信……”
张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。
张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的DUV每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。
而且，DUV的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。
最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。
“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在HMI做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”
方豫伸手敲了敲面前这台DUV的黄色外壳。
听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻机？
既然懂，怎么还说什么“我觉得”？
“这……这……可是……”
张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。
“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。
“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。
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